KYKY iligundua seti ya kwanza ya Pampu ya Masi ya Turbo, Kivumbuzi cha Uvujaji wa Helium ya Kibiashara na Skanning Microscope ya Uchina nchini China.
Mnamo miaka ya 1970, KYKY, tawi la SEM la KYKY lilifanikiwa kutengeneza darubini ya kwanza ya Skanning Electron nchini China.
Coat ya Sputtering kwa utayarishaji wa sampuli ya SEM, utaftaji wa sampuli isiyo ya kufanya.
Gesi ya kati: hewa au argon, na pembe ya argon na microadjuster ya mfumuko wa bei ya hewa. Imeboreshwa inapatikana, kwa mfano (vifaa na kupima unene wa mipako)
Faida:
saizi ndogo; operesheni inayofaa kutumia; ilichukuliwa na zaidi ya shabaha ya chuma; Hali ya Argon inapatikana.
Maelezo:
Kipenyo cha Chumba cha Kufanya Kazi: | 75-150mm |
Mfumo wa utupu | Pampu ya Rotary ya Uokoaji, 2L / s |
Kiwango cha Kuweka: | 2-10 nm / min |
Nguvu: | 220V / 50Hz |
Chumba cha usindikaji wa glasi | ∮100mm; 130mm Juu. |
Ukubwa wa hatua ya mfano: | ∮40mm (Shika vikombe 6 vya vielelezo) |
Ukubwa wa shabaha ya dhahabu: | ∮58mm * 0.12mm (unene) |
Kugundua utupu: | Pirani gage |
Ulinzi wa utupu: | 20 pa na valve ya mfumuko wa bei ndogo |
Gesi ya kati: | Argon au hewa na gesi ya argon inlet maalum ya hewa na gesi inayosimamia kwa hadubini. |
Maombi:
Mfano wa mapema ya skanning elektroni (inayoweza kutema sputtering, dhahabu. Fedha, shaba, titani na aluminium.)